наноэлектромеханические системы сокр., НЭМС (англ. nanoelectromechanical systems сокр., NEMS) — устройства, объединяющие в себе электронные и механические компоненты размером до 100 нм.

Описание

Наноэлектромеханические системы являются следующим шагом миниатюризации по отношению к микроэлектромеханическим системам (МЭМС).

НЭМС используются в качестве высокочастотных осцилляторов (до 10 ГГц), наномоторов и модуляторов.

В качестве материалов для изготовления НЭМС широко используются графен и углеродные нанотрубки.

В настоящее время наноэлектромеханические системы могут изготавливаться как методами «сверху-вниз», к которым относятся традиционные методы микроэлектроники (оптическая и электронно-лучевая литография), так и методами «снизу– вверх», такими как молекулярное распознавание и самосборка.

Авторы

  • Шляхтин Олег Александрович
  • Наймушина Дарья Анатольевна
  • Братищев Алексей Владимирович

Источники

  1. http://nanometer.ru/2008/12/21/nems_54998.html (дата обращения: 27.06.2010).
  2. Institute for Molecular Manufacturing. —www.imm.org (дата обращения: 27.06.2010).

Напишите нам