подложка (англ. substrate или wafer) — образец со специально подготовленной поверхностью для наращивания на ней пленок и наноструктур или проведения исследований поверхностных процессов (адсорбции, десорбции, кластерообразования, поверхностной диффузии и т.д.).

Авторы

  • Зотов Андрей Вадимович
  • Саранин Александр Александрович

Напишите нам