микроскопия, электронная сканирующая сокр., СЭМ; РЭМ иначе микроскопия, растровая электронная (англ. scanning electron microscopy сокр., SEM) — разновидность электронной микроскопии, в которой для визуализации топографии поверхности (при регистрации вторичных электронов) и/или карты распределения элементов на поверхности (при регистрации обратно рассеянных электронов, оже-электронов и рентгеновского излучения) используется сканирование по ней сфокусированного пучка электронов. См. также микроскоп, электронный сканирующий.

Авторы

  • Зотов Андрей Вадимович
  • Саранин Александр Александрович

Источник

  1. Оура К., Лифшиц В. Г., Саранин А. А. и др. Введение в физику поверхности / Под ред. В. И. Сергиенко. — М.: Наука, 2006. — 490 с.

Напишите нам