сфокусированный ионный пучок сокр., СИП иначе фокусированный ионный пучок (англ. focused ion beam сокр., FIB) — направленный поток ионов, широко используемый в материаловедении для локального анализа, напыления и травления материалов.

Описание

Сфокусированный ионный пучок генерируют с помощью жидкометаллических ионных источников на основе галлия, золота, иридия и других металлов. Ионы ускоряют до энергий 5–50 кэВ и фокусируют в пучок диаметром в несколько нанометров с помощью электростатических линз. Электростатическая линза — это система диафрагм-электродов различной формы с щелями либо отверстиями для прохождения ионов.

При обработке поверхности мишени с помощью СИП ионы разрушают химические связи и ионизируют ее, а также имплантируются на глубину нескольких нанометров. Однако, в отличие от электронных пучков, СИП позволяет проводить послойное удаление атомов с поверхности и не повреждать более глубокие слои мишени. Наноразмерная прецизионность работы с применением СИП обусловлена малым диаметром пучка (2,5–6 нм).

Использование сфокусированных ионных пучков лежит в основе работы ионных микроскопов, приборов для прецизионной ионной резки и травления материалов, масс-спектрометров и др.

Авторы

  • Вересов Александр Генрихович
  • Саранин Александр Александрович

Источники

  1. Черезова Л. А. Ионно-лучевые методы в оптической технологии: Учебное пособие. — СПб.: СПбГУ ИТМО, 2007. — 151 с.
  2. Handbook of microscopy for nanotechnology / Ed. by Nan Yao, Zhong Lin Wang. — Boston: Kluwer Academic Publishers, 2005. — 731 p.

Напишите нам