микроскоп, электронный сканирующий сокр., СЭМ; РЭМ иначе микроскоп, растровый электронный (англ. scanning electron microscope сокр., SEM) — разновидность электронного микроскопа, в котором для зондирования исследуемой поверхности используется сканирование по ней сфокусированного пучка электронов.

Описание

Для формирования изображения в СЭМ используется детектирование различных сигналов, включая вторичные электроны, обратно рассеянные электроны, рентгеновское излучение и ток через образец. Двумерная карта снимаемого сигнала и представляет собой изображение поверхности.
В сканирующем электронном микроскопе (рис. а) пучок электронов с первичной энергией ~1–10 кэВ фокусируется системой линз в пятно диаметром 1–10 нм на поверхности исследуемого образца. Сфокусированный пучок сканируется по поверхности с помощью системы отклоняющих катушек синхронно с электронным пучком в видеотрубке, которая используется в качестве оптического дисплея. Оба электронных пучка управляются одним и тем же генератором сканирования, поэтому увеличение просто равно отношению размеров дисплея и сканируемой области на поверхности образца. В сканирующем электронном микроскопе используется детектирование различных сигналов, включая вторичные электроны, обратно рассеянные электроны, рентгеновское излучение и ток через образец (рис. б). На рис. в проиллюстрирована структура энергетического спектра электронов, испускаемых с поверхности при ее облучении пучком электронов с энергией E0. На спектре указаны диапазоны энергий электронов, используемые для детектирования.

Иллюстрации

а — Схематическая диаграмма, иллюстрирующая принцип работы сканирующего электронного микроскопа
а — Схематическая диаграмма, иллюстрирующая принцип работы сканирующего электронного микроскопа. б — Типы сигналов, генерируемых при облучении поверхности пучком первичных электронов. в — Энергетический спектр электронов, испускаемый образцом, облучаемым электронами с энергией E0. На спектре отмечены диапазоны энергий, соответствующие вторичным электронам (ВЭ), обратно рассеянным электронам (ОРЭ) и оже-электронам (ОЭ) [1].

Авторы

  • Зотов Андрей Вадимович
  • Саранин Александр Александрович

Источник

  1. Оура К., Лифшиц В. Г., Саранин А. А. и др. Введение в физику поверхности / Под ред. В. И. Сергиенко. — М.: Наука, 2006. — 490 с.

Напишите нам