наноэлектромеханические системы
сокр.,
НЭМС
(англ. nanoelectromechanical systems сокр., NEMS)
—
устройства, объединяющие в себе электронные и механические компоненты размером до 100 нм.
Описание
Наноэлектромеханические системы являются следующим шагом миниатюризации по отношению к микроэлектромеханическим системам (МЭМС).
НЭМС используются в качестве высокочастотных осцилляторов (до 10 ГГц), наномоторов и модуляторов.
В качестве материалов для изготовления НЭМС широко используются графен и углеродные нанотрубки.
В настоящее время наноэлектромеханические системы могут изготавливаться как методами «сверху-вниз», к которым относятся традиционные методы микроэлектроники (оптическая и электронно-лучевая литография), так и методами «снизу– вверх», такими как молекулярное распознавание и самосборка.Авторы
- Братищев Алексей Владимирович
- Наймушина Дарья Анатольевна
- Шляхтин Олег Александрович
Источники
- http://nanometer.ru/2008/12/21/nems_54998.html (дата обращения: 27.06.2010).
- Institute for Molecular Manufacturing. — www.imm.org (дата обращения: 27.06.2010).