Релаксация подразделяется на нормальную и латеральную, называемую также параллельной или тангенциальной. Нормальная релаксация соответствует случаю, когда атомная структура верхнего слоя та же, что и в объеме, но расстояние между верхним и вторым слоем отличается от расстояния между плоскостями в объеме (рис. а). В чистом виде нормальная релаксация наблюдается в металлах. В большинстве случаев имеет место уменьшение первого межслоевого расстояния; для более глубоких слоев отклонение от объемного значения межслоевого расстояния уменьшается с глубиной, часто осцилляторно. Иногда также наблюдается однородное смещение верхнего слоя параллельно поверхности (рис. б); в этом случае говорят о параллельной или тангенциальной релаксации. Она наблюдается в основном на высокоиндексных плоскостях с низкой концентрацией атомов.