литография, нанопечатная (англ. nanoimprint lithography) — технология, предназначенная для переноса изображения наноструктуры или электронной схемы на подложку с покрытием и включающая деформацию покрытия штампом с последующим травлением деформированного покрытия и формированием на подложке наноструктуры или элементов электронной схемы.

Описание

В нанопечатной литографии изображение образуется за счёт механической деформации полимерного покрытия (резиста) пресс-формой (штампом), а не путем изменения химической структуры покрытия с помощью облучения, как в литографии с экспонированием. Исключение из технологического процесса облучения резиста через маску упрощает производство. С помощью нанопечатной литографии можно получать наноструктуры размером менее 10 нм на достаточно больших площадях, что недоступно для всех других методов литографии.

Иллюстрации

Схема нанопечтной литографии (остатки резиста на вдавленных участках анизотропно вытравливаются)
Схема нанопечтной литографии (остатки резиста на вдавленных участках анизотропно
вытравливаются): (1) подложка, (2) резист, (3) штамп.

Автор

  • Гусев Александр Иванович

Источники

  1. Гусев А. И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. — М., Наука-Физматлит, 2007.—416 с.
  2. Кобаяси Н. Введение в нанотехнологию. — М.: Бином, 2007.—134 с.

Напишите нам