эпитаксия, твердофазная сокр., ТФЭ (англ. solid phase epitaxy сокр., SPE) — способ наращивания эпитаксиальной пленки, при котором сначала при пониженной температуре осаждается неупорядоченная (аморфная) пленка, после чего проводится ее кристаллизация при более высоких температурах (которые, однако, ниже температуры плавления этого материала).

Авторы

  • Зотов Андрей Вадимович
  • Саранин Александр Александрович

Напишите нам