Описание
При встречном сканировании возможно получение одной или двух пар ВСИ. Каждая пара состоит из прямого и встречного ему изображений. Прямое изображение второй пары образовано из строк холостого хода прямого изображения первой пары. Встречное изображение второй пары образовано из строк холостого хода встречного изображения первой пары. ВСИ предназначены для коррекции искажений, вызываемых дрейфом зонда сканирующего микроскопа относительно измеряемый поверхности. По сравнению с одной парой ВСИ использование двух пар требует в два раза больше памяти и времени вычислений, однако позволяет увеличить точность коррекции и снизить уровень шума в исправленном изображении.
Иллюстрации
|
Встречно-сканированные изображения пористой поверхности оксида алюминия (АСМ, 128×128 точек): (а) прямое и (б) встречное изображения первой пары; (в) прямое и (г) встречное изображения второй пары. Погрешность, вызванная дрейфом, 25%. (д) Исправленное изображение, остаточная погрешность 0.1%. |
Автор
- Лапшин Ростислав Владимирович
Источники
- Lapshin R. V. Automatic drift elimination in probe microscope images based on techniques of counter-scanning and topography feature recognition // Measurement Science and Technology - V. 18, 2007 - P. 907-927
- Р. Лапшин, Особенность-ориентированная сканирующая зондовая микроскопия: прецизионные измерения, нанометрология, нанотехнологии “снизу-вверх”, Электроника: Наука, Технология, Бизнес, Спецвыпуск “50 лет НИИФП”, № 9, стр. 94-106, 2014.