спектроскопия ионного рассеяния (англ. ion scattering spectroscopy сокр., ISS) — набор методов исследования твердых тел, основанный на анализе ионов, упруго рассеянных исследуемым образцом.

Описание

В зависимости от энергии ионов спектроскопия ионного рассеяния подразделяется на:

Ионная спектроскопия низких энергий (для обозначения которой часто используют и общий термин «спектроскопия ионного рассеяния») применяется для изучения структуры и состава поверхности, так как ионы с малой энергией не проникают на глубину больше нескольких атомных слоев.

В спектроскопии ионов средних энергий и спектроскопии резерфордовского обратного рассеяния используется тот факт, что высокоэнергетические ионы способны проникать вглубь образца вследствие малого сечения рассеяния. Оба метода позволяют исследовать состав и структуру образцов как функцию глубины проникновения. Отличаются они друг от друга тем, что резерфордовское обратное рассеяние обеспечивает большую глубину проникновения, но меньшую разрешающую способность, в то время как спектроскопия ионов средних энергий — меньшую глубину зондирования, но лучшую разрешающую способность.

В том случае, когда первичный пучок ионов ориентирован вдоль основных направлений в кристалле, эти методы становятся чувствительными к поверхности; в этом случае вклад объема минимизирован за счет эффекта каналирования (см. подробнее в статье спектроскопия резерфордовского обратного рассеяния).

Авторы

  • Зотов Андрей Вадимович
  • Саранин Александр Александрович

Источник

  1. Оура К., Лифшиц В. Г., Саранин А. А. и др. Введение в физику поверхности / Под ред. В. И. Сергиенко. — М.: Наука, 2006. — 490 с.

Напишите нам