микроскопия, электронная сканирующая
сокр.,
СЭМ; РЭМ
иначе
микроскопия, растровая электронная
(англ. scanning electron microscopy сокр., SEM)
—
разновидность электронной микроскопии, в которой для визуализации топографии поверхности (при регистрации вторичных электронов) и/или карты распределения элементов на поверхности (при регистрации обратно рассеянных электронов, оже-электронов и рентгеновского излучения) используется сканирование по ней сфокусированного пучка электронов. См. также микроскоп, электронный сканирующий.
Описание
Авторы
- Зотов Андрей Вадимович
- Саранин Александр Александрович
Источник
- Оура К., Лифшиц В. Г., Саранин А. А. и др. Введение в физику поверхности / Под ред. В. И. Сергиенко. — М.: Наука, 2006. — 490 с.