Описание
ООП представляет собой упрощенную разновидность особенность-ориентированного сканирования (ООС), когда вместо получения топографического изображения некоторой поверхности выполняется только перемещение зонда по особенностям этой поверхности. Перемещение осуществляется из начальной точки A поверхности (окрестности начальной особенности) в конечную точку B (окрестность конечной особенности) вдоль некоторого маршрута, проходящего через промежуточные особенности поверхности.
Различают ООП «вслепую», когда координаты особенностей, по которым производится перемещение зонда, заранее неизвестны и ООП по готовой «карте» особенностей, когда относительные координаты всех особенностей известны, например, были получены в ходе предварительного ООС. Разновидностью указанных способов является перемещение зонда по навигационной структуре.
Кроме прецизионного перемещения зонда сканирующего микроскопа по исследуемой поверхности, метод ООП может использоваться в нанопроизводстве «снизу вверх» для прецизионного перемещения зонда нанолитографа/наноассемблера по поверхности подложки. Причем, ООП, однажды выполненное по некоторому маршруту, затем может быть точно воспроизведено необходимое число раз.
Автор
- Лапшин Ростислав Владимирович
Источники
- Lapshin R. V. Feature-oriented scanning methodology for probe microscopy and nanotechnology // Nanotechnology, 2004. - V. 15 (9) - P. 1135-1151, 2004.
- Р. Лапшин, Особенность-ориентированная сканирующая зондовая микроскопия: прецизионные измерения, нанометрология, нанотехнологии “снизу-вверх”, Электроника: Наука, Технология, Бизнес, Спецвыпуск “50 лет НИИФП”, № 9, стр. 94-106, 2014.