подложка
(англ. substrate или wafer)
—
образец со специально подготовленной поверхностью для наращивания на ней пленок и наноструктур или проведения исследований поверхностных процессов (адсорбции, десорбции, кластерообразования, поверхностной диффузии и т.д.).
Описание
Авторы
- Зотов Андрей Вадимович
- Саранин Александр Александрович