Описание
Название «дельта-легирование» обусловлено тем, что в этом случае распределение концентрации легирующей примеси по глубине полупроводникового образца имеет вид дельта-функции Дирака.
Автор
- Саранин Александр Александрович
Название «дельта-легирование» обусловлено тем, что в этом случае распределение концентрации легирующей примеси по глубине полупроводникового образца имеет вид дельта-функции Дирака.