Субшероховатость обнаруживается с помощью современных прецизионных методов и средств исследования поверхностей, таких, как сканирующий туннельный и атомно-силовой микроскопы, которые обладают разрешающей способностью порядка 1–10 нм. Субшероховатость формируется поверхностными неровностями с характерными размерами по высоте порядка 1–100 нм и по шагу — 10– 1000 нм. Образование субшероховатости тесно связано с внутренней структурой твердого тела, ее дефектами, а также процессами взаимодействия поверхности с окружающей средой (окисление, адсорбция).