гомоэпитаксия
(англ. homoepitaxy сокр., homoepi)
—
вид эпитаксии, при котором материал наращиваемого слоя и материал подложки совпадают. Отличие возможно только в содержании легирующей примеси.
Описание
Технология гомоэпитаксии используется для выращивания слоев с иным содержанием примеси, чем в подложке, и для создания слоев с различным уровнем легирования.
Автор
- Саранин Александр Александрович