Химическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том числе CVD, EVD, MoCVD, PVD и аналоги)
Подразделы
Статьи
- адгезия
- волокна, борные
- волокна, карбидкремниевые
- гетероэпитаксия
- зародышеобразование
- криоконденсация
- критический размер островка
- механизм роста Странского – Крастанова
- механизм роста Франка – Ван дер Мерве
- механизмы роста тонких пленок
- осаждение пленок и покрытий на подложку
- островков (двумерных), форма
- островков укрупнение
- островок
- сурфактант
- физическое осаждение из газовой фазы
- химическое осаждение из газовой фазы
- химическое осаждение из паров металлорганических соединений
- эпитаксия, газофазная